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栅介质图谱-材料领域：

研究人员

刘正堂 林成鲁 吴健 冯丽萍 张化福 万青 祁康成 章宁琳 宋志棠

相关术语

射频磁控溅射 退火 高介电常数 等效氧化物厚度 高k材料 HfSiON薄膜 高k MOSFET

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