刘保亭 李伟洲 陈剑辉 张宏森 李幼真 李曼 王侠 宋成 张华芳 邢金柱 王启民 周阳 郑玉峰 霍骥川 张晓囡 张丽丽 王凤青 张湘义 陈海波 孙超 杨林 刘卓佳 李庆芬 赵冬月 王颖 肖来荣 蔡志刚 李丽 周继承 赵庆勋

薄膜 Cu互连 界面结合强度 热稳定性 Cu金属化 高温防护涂层 射频反应磁控溅射 失效机制 元素互扩散 界面扩散 铌合金 Mo（Si 热障涂层 MCrAlY Ni-Al Zr-N薄膜 涂层 高温抗氧化 氧化膜 Al）2 TGO