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李幼真图谱-材料领域:
相关人员
张云芳
周继承
陈海波
肖剑荣
刘雄飞
研究领域
扩散阻挡层
薄膜
化学气相沉积
Cu互连
Cu金属化
扩散挡层
光学带隙
阻挡性能
所属机构
中南大学物理科学与技术学院
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