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扩散阻挡层图谱-材料领域：

研究人员

刘保亭 李伟洲 陈剑辉 张宏森 李幼真 李曼 王侠 宋成

相关术语

薄膜 Cu互连 界面结合强度 热稳定性 Cu金属化 高温防护涂层 射频反应磁控溅射 失效机制

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