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纳米晶硅薄膜图谱-材料领域：

研究人员

林璇英 黄翀 陈城钊 吴燕丹 李平 刘翠青 邱胜桦 余楚迎

相关术语

衬底温度 微结构特性 氢稀释 电学性能 RF-PECVD 晶化率

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