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纳米硅薄膜图谱-材料领域：

研究人员

林璇英 杜丕一 韩高荣 张溪文 娄艳辉 沈鸽 林揆训 史国华

相关术语

制备 结构特征 暗电导率 氢稀释 逐层生长法 化学气相沉积 SiCln（n=02）基团 光电特性

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