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硼碳氮薄膜图谱-材料领域：

研究人员

冯克成 袁力江 赵永年 雷明凯 郑亚茹 王兴权 宋哲 张先徽

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红外吸收光谱 等离子体源离子渗氮 射频磁控溅射 X射线光电子谱 透过性质 沉积参量

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