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离子注入 发光二极管 半导体器件 掺杂 CL 金刚石 临界载荷 注入剂量 ECR-PEMOCVD 深能级缺陷 生长机理 氨气流量 生长机制 磁控溅射 注入绝缘 铁磁性 纳米棒 可靠性 Ga2O3In 磁性 玻璃衬底 氨化 氮化 钯催化 表面形貌 溅射 Ga2O3In2O3 纳米线 缺陷结构 稀磁半导体

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