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张辉军图谱-材料领域：

相关人员

刘鑫 刘红梅 曹茂盛 邱成军 赵全亮 孟丽娜 田风军

研究领域

MEMS 薄膜 溶胶-凝胶法 PZT薄膜 锐钛矿相 射频磁控溅射 光催化活性 微驱动器 各向异性刻蚀

所属机构

北京理工大学材料科学与工程学院 黑龙江大学集成电路重点实验室 2北京理工大学材料科学与工程学院

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