陈继权 宋文燕 张兴刚 崔虎 徐新 闫锋 李阳平 刘文婷 刘正堂 梅辉 李强

高温强度 射频磁控溅射 透过率 二氧化硅薄膜 白宝石 磁控反应溅射 栅介质 HfSiON薄膜 磁控溅射 高k SiO2Si3N4薄膜 镀膜 蓝宝石 高温失效 氮化硅

陕西西安 西北工业大学材料学院 西北工业大学 西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验... 第二炮兵工程学院