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吴燕丹图谱-材料领域:
相关人员
李平
邱胜桦
黄翀
刘翠青
余楚迎
陈城钊
林璇英
研究领域
RF-PECVD
微结构特性
纳米晶硅薄膜
晶化率
电学性能
衬底温度
氢稀释
所属机构
汕头大学物理系
韩山师范学院物理与电子工程系
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