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邓琛图谱-机械领域：

相关人员

戴天明 徐晨 蒋文静 李晓波 高伟 宋义超 沈光地

研究领域

等离子体 感应耦合等离子刻蚀 刻蚀形貌 微机电系统 温度噪声 热机械噪声 红外探测器 等效噪声功率

所属机构

北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市...

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