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沈光地图谱-机械领域：

相关人员

邓军 高伟 吴畯苗 阳启明 廉鹏 徐晨 盖红星 张建铭

研究领域

金属有机化合物汽相淀积 键合 刻蚀形貌 MEMS 多端输出的第二代电流传输器 微蚀孔 深刻蚀 等离子体

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