邓军 高伟 吴畯苗 阳启明 廉鹏 徐晨 盖红星 张建铭 俞波 宋义超 徐萍萍 李建军 韩军 李博 陈建新 董典红 李兰 蒋文静 邓琛 杨道虹 王春华 邹德恕 金文贤

金属有机化合物汽相淀积 键合 刻蚀形貌 MEMS 多端输出的第二代电流传输器 微蚀孔 深刻蚀 等离子体 光刻 微电容 电流模式 布拉格反射镜 电路实现 感应耦合等离子刻蚀 膜厚测定 双极晶体管 反射谱 快速检测 多输出端第二代电流传输器 红外探测器 浓硼重掺杂硅薄膜 腐蚀 通用滤波器 电路系统