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边界效应 数字信号处理器 谐响应分析 振动模态 锁相环 稳定性 有源带通滤波器 微电子机械系统 系统模型 有限元工具 电容检测 压电 机械耦合 微机电系统 阻尼力矩 转子 设计 静电悬浮 比较器 测控系统 有限元 相位差 玻璃基底 DSMC 模型 模态 电磁悬浮 直接数字频率合成 旋转 自适应闭环驱动