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闫桂珍图谱-计算机领域:
相关人员
迟晓珠
崔健
杨振川
钱梁
王佳
刘雪松
吕博
研究领域
机械耦合
微机械陀螺
微陀螺
有限元工具
CMOS-MEMS体硅陀螺
工艺误差
谐响应分析
频响函数
所属机构
北京大学微电子系
微米纳米加工技术国家级重点实验室
北京大学微电子系微米纳米加工技术国家重点...
北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国...
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