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化学气相沉积图谱-社科哲学领域：

研究人员

王红娟 王丽丽 赵利军 毕冬梅 韩敏建 张帅 杨小毛

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固相晶化 四氯化钛 玻璃 多晶硅薄膜 氮化钛 金刚石膜 等离子体 器件

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