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位相差 多层膜 菲涅耳公式 频宽 光程差 电磁波 折射率 界面 介质片 入射角 磁控溅射 双功能多层膜反射镜 薄膜 增反膜 亥姆霍兹方程 透射率 极紫外线 厚度 增透膜 光强分布 光子晶体 光强 遗传算法 氮化钛TiN) 转移矩阵