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超磁致伸缩换能器 电磁参数 传输系数 高功率密度 细长轴 动特性 截止频率 劲化 舰船舵机 声表面波 机电耦合系数 延时温度系数 滚珠传动副 几何非线性 层结构 放大电路 叉指换能器 长径比 磁电力耦合模型