陈伟 刘峰 刘传胜 朱小琴 严少平 蒋百灵 范湘军 马腾才 齐雪莲 吴大维 彭友贵 张永宏 杭凌侠 高鹏 惠迎雪 徐均琪 任春生 郭晓川 苏阳

应力 退火温度 Raman光谱 磁控溅射 工艺参数 类石墨碳镀层 靶基距 表面粗糙度 增强电离 DLC薄膜 Cu膜 脉冲真空电弧沉积 碳膜 均匀性 微结构 β-C3N4 沉积速率 X射线光电子能谱 薄膜 硬度