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非平衡磁控溅射图谱-自然科学领域：

研究人员

陈伟 刘峰 刘传胜 朱小琴 严少平 蒋百灵 范湘军 马腾才

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应力 退火温度 Raman光谱 磁控溅射 工艺参数 类石墨碳镀层 靶基距 表面粗糙度

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