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比例泵 补偿 分析 阀口 矩形节流槽 回转角度 泄漏 迟缓率 摩擦力 卡尔曼滤波器 特性 液压伺服系统 建立 非线性参数 动态方程 伺服阀 锥阀 流量系数 间隙泄漏 变量特性 机械流体动力学 抗污染能力 球阀 优化设计 超高压电磁换向阀 减压阀 高压气动阀 调速系统 电磁多路换向阀 压电执行器