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半导体 表征 氮化物 应用 发光二极管 结晶质量 一维纳米材料 反应室压力 离化簇团束 金属有机化学气相沉积 薄膜 低维纳米结构 光致发光 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 X射线衍射 硅衬底 纳米晶 两步法工艺 分子束外延 退火氨化 光致荧光光谱 表面形貌 磁控溅射 生长速率 镓柠檬酸络合物 制备方法 碳纳米管 溶胶-凝胶法 宽禁带半导体