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温度补偿 毛细管 放电特性 非线性优化 表面粗糙度 压力补偿 阻力元件 苯酚 气体分压 变送器 离子膜燃料电池 溅射参数 煤气压缩机 筛选过滤 示踪 电离度 计量误差 氦气 微分模型 物理定律 数据融合 气垫厚度 氢等离子体 传感器 磁过滤阴极真空弧法（FCVA） 纳米nc-ZrCNa-C:H（N）复合膜 Cr-O-N涂层 梯度薄膜 臭氧浓度 微量气体