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沉积过程动力学图谱-自然科学领域：

研究人员

汪爱军 刘式墉 刘彩霞 陈维友 张冶金 曹晓光

相关术语

反应室气流流体力学 MOCVD 工艺模拟系统 化学反应热力学

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