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抛光液图谱-自然科学领域：

研究人员

于广 牛新环 康志龙 刘玉岭 王新 肖文明 王胜利 檀柏梅

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化学机械抛光 去除机理 ULSI 精密加工 化学作用 平整化 固体表面 铜

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