李艳军 王颖 孙伟锋 赵旭东 孙广毅 赵新 赵野 俞军军 白继彬 朱长纯 苏巍 陈治明 卢桂章 吴春瑜

晶闸管工艺 隔离结构 杂质分布 虚拟工艺 集成门集换流晶闸管 腐蚀 光刻 计算机辅助工艺设计 闭管扩散 金属栅CMOS工艺 微加工 silvaco