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温度误差补偿 模拟 随机参数 时间序列分析 子结构法 对称解耦 非平稳信号 灵敏度解析 输出电容 Allan方差 优化 品质因子 结构优化 平板运动结构 田口方法 数字读出 逐步回归 电学模型 浮点数字信号处理器（DSP） 固有频率 双质量块 机械耦合 影响因子 耦合 机械激励-电容检测 健壮性设计 刚度 微弹性梁 系统级仿真模型 噪声