王建 李圣怡 陈花玲 刘云峰 刘国文 王永泉 贺学明 万蔡辛 谭振新 李科杰 李秋柱 张文栋 胡淏 李童杰 谭晓昀 张斌珍 刘宗林 吴学忠 夏明安 魏兵 薛晨阳 刘晓为 周贤中 刘继奎 董景新

遗传算法 多目标优化 制作工艺 微机电系统 微陀螺仪 应变因子 梳状滤波器 RF-ME MS 静电反馈 芯片自恒温系统 可靠性 稳定性 控制器 静电力 数字微镜器件 吸合失效 温度补偿 非线性系统 砷化镓 梳齿式 共振隧穿压阻薄膜 薄膜 Sigma-Delta GaAsAlGaAs 压阻特性