方子韦 徐骏 罗晏 周甫方 文利群 陈振华 马忠元 华文玉 罗益民 宋海智 陈三钱波 梁淑霞 黄信凡 李国辉 徐岭 邢昆山 倪如山 梁厚蕴 陈存礼 邹世昌 林揆训 许诚 陈坤基 曾云 隋妍萍 王文勋 黄培云 李伟 周继承 林成鲁

辐射损伤 浅结 实验研究 工艺模型 铝诱导晶化 位率 漏电流 硅片 背散射沟道分析 增强扩散 剩余缺陷 背散射分析 离子注入 蓝绿色发光 应力 温度 纳米硅 扩散势垒 光致发光 火行为 总目次 AlN薄膜 双重离子注入 aSi:HSiO2多层膜 注入硅 N注入 单晶硅 钛硅化物 射频反应磁控溅射 方法研究