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快速热氮化图谱-自然科学领域：

研究人员

黄世平 田浦延 王川 陈蒲生 冯文修 刘小阳 张恒 刘剑

相关术语

氧化退火 界面 电流传输特性 电子隧穿 薄膜 超薄SiO2膜 表面 氮原子

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