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薄膜 真空退火 氧化钇 弹性模量 微结构 纳米压痕 热解碳 弥散强化薄膜 残余应力 碳碳复合材料 3J58恒弹合金 纳米材料 结合力 铁薄膜 等离子体增强化学气相淀积 Ti-Si-N纳米复合膜 氮化硅 激光冲击强化 二氧化硅 载荷相关性