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Raman光谱 工艺条件 表面形貌 薄膜形貌 测量 摩擦系数 折射率 摩擦学性能 光学带隙 基体预处理 模型 中间过渡层 sp3sp2 离子束辅助沉积 金刚石薄膜 生物材料 晶体生长 Si（111）面 分子动力学模拟 不锈钢 光致发光 性能 生物相容性 3Cr13不锈钢 过滤式阴极电弧沉积 多样品分析法 结构 非晶碳薄膜 薄膜制备 牢固度