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航空轴承 热力学特性 感生磁各向异性 钝化 X光电子能谱 质量损失 超顺磁 薄膜 硅化物 离子溅射 再分布 非晶合金 氢在阴极的析出 耐蚀性 俄歇电子能谱 损伤层 非晶薄膜 电子能谱 氮化钛 原位测量 硅化物生成 表面改性 品粒度 不均匀的微结构 电阻率 误差函数拟合法 溶液腐蚀 离子注入 强脉冲离子束 等离子体源离子注入