徐平 周洪军 徐向东 刘鲁勤 霍同林 陶晓明 王珏 陆卫昌 周斌 黄光 洪义麟 易新建 何苗 傅绍军 朱昌 张允武 谢东珠 王稳奇

束流密度 热磷酸腐蚀 光刻胶 加工技术 静态成像靶 闪耀光栅 热蒸发 加工新技术 离子刻蚀 离子镀 离子束辅助 点扩散函数 表面形貌 真空紫外 形状记忆合金 表面粗糙度 离子源 光刻胶灰化 均匀性 离子注入 光刻技术 微透镜阵列