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离子束刻蚀图谱-自然科学领域：

研究人员

徐平 周洪军 徐向东 刘鲁勤 霍同林 陶晓明 王珏 陆卫昌

相关术语

束流密度 热磷酸腐蚀 光刻胶 加工技术 静态成像靶 闪耀光栅 热蒸发 加工新技术

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