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等离子增强化学气相沉积图谱-自然科学领域：

研究人员

朱英红 奚建平 杨宏 郑华均 叶小琴 王文静 胡宏勋 于化丛

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纳米晶薄膜 表面钝化 太阳电池 SiNx:H 微结构 氮化硅薄膜 掺杂纳米硅薄膜 碳化钨

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