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表面电阻率 平面靶 表面改性 粒子模拟 内表面 PIC-MCC 柱形空心阴极脉冲放电 聚酰亚胺 碰撞鞘层 能量分布 流体模型 角度分布 计算机模拟 MonteCarlo模拟 蒙特卡罗模拟 内表面等离子体源离子注入 离子束混合 类金刚石 等离子体鞘层模拟 衰减全反射红外谱 俄歇电子能谱 X光电子能谱 离子注入剂量 入射角分布 附加电极半径