曾绍鸿 陈蒲生 王鹏飞 王川 王锋 张卫 吴子景 蒋宾 刘小阳 王季陶 张庆全 丁士进 吴晓京 王岳

低温 介质膜 稳定性 二氧化硅 光学特性 氮化硅 最优化工艺 薄膜 FTIR XPS 电学特性 膜层组份 纳米硬度 气体配比 弹性模量 a-SiCOF薄膜