应诗浩 陈林峰 王本军 高丽娟 范洪远 杨栋华 叶伏秋 闫金良 杨晓红 李永良 梁继然 刘宏宇 左安友 王刚 戚琦 刘志刚 杨柏梁 唐正华 赵超 黄锡珉 韩雷 李兴鳌 孙彩芹 杨建平 郑伟涛 李爱丽 刘娜 吕宇强 刘宗贺 程春晓

表面粗糙度 退火环境 退火处理 工艺参数 铝薄膜 ITO薄膜 退火 TiWO3薄膜 氧空位 膜厚 透过率 锆合金 偏压 性能 择优取向 微结构 X射线光电子能谱 氧浓度 透射率 X射线衍射 铬膜 面电阻 网格 晶粒尺寸 吸收度 光学透过率 生长机制 附着性 离子轰击 TiO2薄膜