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放电间隙 显微硬度 微细电极 评定参数 多轴数控进给轨迹 脉冲电源 脉冲 机理 神经网络 补偿 温度梯度 过切量 CAPP 脉冲电压 数控系统 气体放电加工 建模 微型电火花装置 优化 表面改性 放电通道 平动 无偏估计 表面改质 伺服控制系统 放电状态检测 物理效应 硬质合金 加工精度检测 加工速度

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