齐乐华 杨毅 罗俊 贾莹 韩培刚 杨琳 冯博学 刘金良 安敏 兰新哲 宫永辉 毛延发 唐卫国 杨方 杭争翔 曾祥辉 李小欣 周廉

N2分压 重熔 电弧 TiAlNTiN膜 脉冲偏压 变极性 熔化极 界面移动 热传导 多弧离子镀 TiAlN 生长过程 气体保护