于广 华雷 檀柏梅 廖军和 杜家熙 宁欣 雷红 王胜利 唐海霞 贾晓华 陈西府 吕玉山 连军 张朝辉 雒建斌 刘玉岭 蔡光起 王新 叶兵 高盼盼 万秀颖 赵永武 周海 牛新环 肖文明 王黛萍 王永光 苏建修

抛光液 多层布线 磨料流 去除机理 软质层 表面粗糙度 机理 全网格近似 材料去除率 二氧化硅 非接触状态 浓度 全局平面化 模型 集成平坦化 材料去除机理 分子量级 虚拟填充 线松弛 平整化 钢领 微电子 超大规模集成电路 压强分布 铜 多重网格法 抛光垫 磨损行为 磨损量 ULSI