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刻蚀速率图谱-自然科学领域：

研究人员

胡光 吴雯 叶芸 王敬义 尹盛 王鸣 李战春 赵亮

相关术语

等离子体 深度刻蚀 掩蔽层材料 湿法刻蚀 反应离子刻蚀 表面粗糙度 微机电系统 优化工艺参数

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