徐端颐 陈育荣 李庆祥 齐国生 韦光辉 金江 沈全洪 赵宏伟 陈道炯 宫赤坤 吴努 刘羡飞 刘品宽 谢铁邦 杨旭霞 沈世德 蒋利民 蒋培军 孙立宁 荣伟彬 张涛 杨旭东 田昭武 蔡鹤皋

位移传感器 运动输出 二级定位 仿真 PID 迟滞 BP神经网络 母盘刻录 垂直扫描工作台 控制模型 约束刻蚀剂层技术 谐综合 柔性手臂 主动控制 电子凸轮 纳米级微定位