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反应室气流流体力学图谱-自然科学领域：

研究人员

刘彩霞 陈维友 张冶金 汪爱军 刘式墉 曹晓光

相关术语

沉积过程动力学 MOCVD 工艺模拟系统 化学反应热力学

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