林伟 宋学平 吴桂芳 陈宇翔 宁兆元 吕反修 邓坤 何英 王长征 张栋 苗伟 葛水兵 蒋紫松 唐伟忠 周静 李远程 刘静 马春兰 程珊华 申发振 叶超 刘勇 孙兆奇 张培明 钟国仿 金鑫 李伟

光学相位移法 光学性能 电阻率 溅射铜膜 生长速率 应力 RF-PECVD 微结构 a-Si:H薄膜 导电机制 霍尔迁移率 结构 电学性能 载流子浓度 电学特性 光致发光 非晶碳膜 薄膜 磁控溅射 ITO膜 ZnO∶A1膜 等离子体辅助蒸发沉积 电子束蒸发沉积 金刚石 ZnO薄膜 离子注入 SOI材料