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光致发光 预沉积 表面形貌 多量子阱 Mg掺杂GaN 质量流量计 反应室气流流体力学 干涉曲线 反射率 solgel 缺陷 GaAs 热力学 成核机理 表面形态 化学反应热力学 退火 ECV 精确控制 CuSi（111）基板 X射线双晶衍射 衬底 GaAs薄膜 异质结 工艺模拟系统 TiO2薄膜 霍尔测量 Ni 量子阱 离子注入

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