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分子束外延法 双晶X射线衍射 自支撑GaN 扫描电子显微镜 阳极氧化铝 2DEG 缺陷 表面起伏 掺杂 交叉饱和 金属有机化学气相淀积 极性 量子阱激光器 金属有机物气相沉积法 光响应 光致发光 X射线衍射 过渡层 霍尔测量 热力学分析 绿光LED 聚焦离子束刻蚀 双异质结 横向外延生长 金属-半导体-金属（MSM）结构 光电导 缓冲层 （Ga1-xInx）P 氨化 ECV