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ECR等离子体图谱-自然科学领域：

研究人员

陈俊芳 喻宪辉 袁润章 张洪宾 邬钦崇 符斯列 李炜 邢振宇

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溅射 X模式 朗缪尔双探针 真空波导 发射光谱 磁轭 空间分布 SiCOH薄膜

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